硅晶圆生产线包胶轮

硅晶圆生产线用聚氨酯包胶轮，专为轨道式天车 / 自动导引车（OHT/AGV）系统设计，具备防静电、无尘、高耐磨特性，可有效提升晶圆搬运良率、降低维护成本，适用于高洁净度、精密传输的应用场景。

一、主要类型与应用场景

1、空中自动搬运系统 (OHT/OHCV)

天车行走轮 / 轨道轮：专用于空中轨道，负责在各工艺设备间高速、长距离搬运晶圆盒 (FOUP)。

高空运输机驱动轮：适用于晶圆键合、光刻等对洁净度与化学腐蚀环境要求极高的环节。

2、地面自动搬运车 (AGV/RGV)

AGV驱动轮：应用于地面无人车，连接存储区与各加工区域，完成末端转运。

穿梭车 (RGV) 轮：用于轨道导引车，在生产线或仓库内进行批量、高频次的搬运。

3、辅助搬运设备

洁净室导轮：作为人工或半自动推车、设备底座的脚轮，负责FOUP、化学品瓶等的短途、灵活转运，同样需满足防尘、防静电要求。

自动化仓储设备轮：应用于堆垛机、分拣机器人等，具备高耐磨和重载能力。

二、核心性能要求

1、防静电 (ESD Protection)

防静电击穿晶圆，添加导电填料 + 导电路径设计，电阻控制在 10⁶-10⁹Ω，高效泄放静电。

2、无尘洁净 (Low Particle Generation)

适配 Class 100 + 洁净室，高纯度 PU + 无缝浇注 + 光滑表面，极低颗粒脱落。

3、高精度与低振动

高弹性吸收冲击力，微米级控振，避免振动影响光刻等精密工艺对准精度。

4、耐化学腐蚀与耐温性

耐光刻胶、酸碱清洗液腐蚀，宽温域内性能稳定，适配晶圆生产工况。

5、高耐磨与长寿命

7×24h 连续运行，耐磨度为普通橡胶轮 3-5 倍，寿命 5-8 年，降低维护成本。

总结

半导体车间滚轮通过其特殊设计和材料，从源头上杜绝了微粒污染和静电损伤风险，确保了晶圆在搬运过程中的安全与洁净，直接关系到半导体生产的良率和效率。